往復真空泵的結構見圖2-77，工作原理見圖2-78。

    無油往復真空泵由于采用自潤滑材料的活塞環、密封環，氣缸內無需加油潤滑；在汽缸與機體之間加設隔油腔(其長度大于一個行程長度)，阻止機體內潤滑油沿活塞桿漏入汽缸，所以該泵對被抽系統無污染。無油往復真空泵有立式和臥式兩種結構。

    該水泵的應用范圍是：需要清潔真空的環境；在氣體需要回收時，可在充氣腔充入回收氣體，以保證氣體的純度；當抽除易燃易爆氣體時，可向隔離腔充入惰性氣體，使空氣(助燃劑)無法漏入汽缸，避免事故發生。

    往復式真空泵對于抽除腐蝕性的氣體或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處必須加裝過濾器。

    往復式真空泵的型式與基本參數參考JB／T 7675--2005。